9 外觀與性狀
無色、無氣味、非易燃的氣體，在24.3℃以上時不能保持液態，通常裝在耐高壓鋼瓶內
17 主要用途
用作絕緣氣、等離子蝕刻劑，高介電強度冷卻劑
毒性：屬低毒類。
急性毒性：大鼠吸入80%（20%爲O2）×4小時，近似致死濃度
危險特性：若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險。
燃燒（分解）產物：氟化氫。
21 泄漏應急處理
戴自給式呼吸器，穿工作服。切斷氣源。抽排（室內）或強力通風（室外）。漏氣容器不能再用，且要經過技術處理以清除可能剩下的氣體。
22 防護措施
呼吸系統防護：空氣中濃度較高時，應該佩戴防毒面具。緊急事態搶救或撤離時，建議佩戴自給式呼吸器。
眼睛防護：一般不需要特殊防護。
身體防護：穿工作服。
手防護：一般不需要特殊防護。
其它：避免高濃度吸入。
23 急救措施
吸入：脫離現場至空氣新鮮處。呼吸困難給輸氧。呼吸停止時，立即進行人工呼吸。就醫。
滅火方法：切斷氣源。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。霧狀水。