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四氟甲烷
四氟化碳分子式:CF4外观与性状:无色无臭气体分子量:88.01蒸汽压:13.33kPa(15.07℃)熔点:-183.6℃沸点:-128.0℃溶解性:不溶于水密度:相对密度(水=1)1.61(-130℃)稳定性:稳定危险标记:5(不燃气体)主要用途:用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术健康危害:侵入途径:吸入。如呼吸困难,给输氧。
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